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型號(hào) |
YSP63FA |
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模式 |
RIE（DP模式選購） |
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高頻輸功率 |
600W |
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反應(yīng)臺(tái)尺寸 |
W385×D362mm |
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內(nèi)腔尺寸 |
W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸） |
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反應(yīng)氣體 |
2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣） |
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反應(yīng)氣體流量控制 |
質(zhì)量流量控制器 |
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真空泵 |
旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min） |
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氣體導(dǎo)入口 |
反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè) |
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外形尺寸 |
W1860×D1100×H1800mm |
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